从一片硅到一条链：天衢新区半导体产业成长记

青麦垂芒，千畴焕彩。从一纸规划到全链贯通，从硅片破题到生态成势，德州天衢新区以创新驱动缔造“芯”速度，七年间，这里汇聚了上下游企业超百家，已崛起为全国产业版图的创新高地之一。

从零起步的破冰之路

硅片，被誉为半导体产业的“基石”，其技术门槛高、市场长期被国外垄断。2018年，天衢新区迎来转折点——央企中国有研科技集团落子德州，投资建设大尺寸硅片项目。这一破冰之举，填补了山东半导体材料领域的空白，也拉开了国产硅片替代进口的序幕。

有研在德州的快速发展，是德州新一代信息技术产业的一个缩影。从2018年8英寸硅片通线量产，到2023年山东首条12英寸硅片生产线投产，有研以“最快时速”攻克技术壁垒，达到国内领先水平，产品广泛应用于物联网、汽车电子等领域，彻底改写了山东半导体产业的历史。

此后，有研布局的高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等项目纷纷落地，并与已建成的8英寸硅片、12英寸硅片项目“抱团发展”，使德州乃至山东跻身硅材料产业国内第一方阵。

以有研为龙头，天衢新区按照“先中端、后高端，先模组、后器件”的路径，迅速吸引上下游企业集聚，坚定不移地推进新一代信息技术产业的发展，逐步形成了从衬底外延、芯片制造、封装测试、器件模组到终端应用的完善产业生态。

车间里的毫米之战

走进山东有研艾斯半导体材料有限公司无尘车间，单晶硅棒经过截断、滚磨、切片等40余道工序，最终成为12英寸的精密硅片。据悉，直径越大技术挑战越高，大尺寸硅片的生产需攻克单晶微缺陷、表面沾污等几十种技术难题。

技术突破的背后，是创新链与产业链的深度融合。天衢新区联合高校、科研院所搭建产学研平台，推动“有研系”在德州布局7大项目，涵盖硅片、靶材、精密加工等关键领域。

创新不是单打独斗，而是生态协同。有研项目落户后，天衢新区通过“链长制”统筹资源，为每个项目配备专班服务，从审批到投产全程护航。全部达产后，8英寸硅片、12英寸硅片将分别占国内市场10%、20%，高端靶材将占全球市场20%以上，成为国产半导体材料的“稳压器”。

“从8英寸跃升到12英寸，不仅仅是个头的变化。”山东有研艾斯半导体材料有限公司总经理闫志瑞直言，硅片直径越大，对硅片生产的技术、工艺、设备、原材料等要求就越高。山东有研艾斯攻克了多项技术难题，目前12英寸大硅片已在国内外多家知名集成电路制造企业开展产品验证。

产业链的共生实践

有研持续“加码”投资的背后，得益于天衢新区良好的营商环境。“从项目审批，到快速解决建设中遇到的水电气等配套难题，再到有研员工团购价购房等，每一个细节都体现出当地真招实招留企稳企的决心和诚心。”山东有研半导体材料有限公司副总经理常青说。

以硅单晶拉制为例，这是一个极其复杂的过程。在拉制过程中，要控制精确温度和拉速，对水、电等动力条件的供应稳定性要求非常严苛，最害怕的就是发生抖动和能源供应的不稳定。为保证能源供应的稳定性，天衢新区专门协调为企业建设了专用变电站，实行双回路供电。

除了营商环境，人才更是重中之重。为破解人才短缺难题，德州启动“北接南融”战略，主动对接北京、天津的科研资源，吸引高端人才“回流”，推动人才工作由过去“争”和“抢”，主动向“接”和“融”转变。

此外，针对公司高端人才来到德州后无法享受到当地的各类人才政策补贴问题，德州市随即出台《德州市人才政策“破格权”实施细则》，对重点科研类平台和近3年从市外招引的重大项目，不受平台限制，参照本市独立法人资格企业标准，同等享受人才政策，山东有研半导体材料有限公司和山东有研艾斯半导体材料有限公司均被纳入首批享受人才政策“破格权”用人单位名单。

产业的“长个”，也拉动了城市的“长高”。半导体产业的勃兴，不仅重塑了天衢新区的产业结构，更推动了城市的全方位升级。如今，一批批技术含量高、发展潜力大、带动能力强的高端优质项目正“拔节”生长，并形成了“引来一个、带动一批、辐射一片”的聚集效应，形成了“一核多元”的产业格局。

（刘潇  张凤帅）